锂电专用真空烘箱，广泛用于化工、电子、食品、轻工、医药、等行业，可以在真空状态下对物料进行干燥。具有干燥速度快、污染小、不对被干燥物品的内在质量造成破坏的优点。电池专用真空烘箱是专门针对锂离子电池烘烤工艺设计的真空烘箱，由于烘箱物料的特殊性，锂电池专用烘箱需要具备耐强酸碱腐蚀、温控精确、程控高效、稳定安全等特点。

目前在锂电池行业应用最为广泛的有三层真空烘箱、单层真空烘箱、对开门真空烘箱、四门圆仓真空烘箱等规格，其中三层真空烘箱(665mm宽×310mm高×750mm深 ×3层)使用最为广泛。可以用来烘烤分切后的极片、电芯和注液前的电池。

四门圆仓真空烘箱(φ450mm、φ550mm、φ600mm、φ650mm)，也有单门圆仓真空烘箱、六门圆仓真空烘箱等型号。圆仓真空烘箱可以用来烘烤涂布完的整卷极片，此类烘箱的烘烤可以辊压和分切之前显著降低整卷极片中的水分，目前在动力电池生产过程中已经开始逐渐推广，银通、中聚等电池巨头已经开始广泛采用。

对开门真空烘箱，一般是三层，可以镶在干燥车间和注液车间之间的墙上。干燥车间将物料放入烘箱，完成烘烤后可以直接从注液车间一侧取出，注液。提高了流转效率，更重要的是避免了从真空烘箱取出物料运送至另一个车间中环节中水分再次浸入的可能性。

全自动真空烘箱，以上的规格在生产使用中都有手动型和自动(程控)型，手动型可以通过按钮进行加热、抽真空、充氮气，加热计时等功能;自动型可以根据具体工艺编制烘烤程序设定烘烤时间、温度，自动循环次数等参数，全程无人值守，程序完成自动停机。