真空超声波清洗机是一种通过结合真空脱气和超声波技术，对物体进行高效清洗的设备。下面将详细介绍其工作原理。

1. 清洗液投入：首先，在常压下将待清洗的物体投入到清洗液中。清洗液可以是水或其他特定的清洗剂，根据物体的不同材质和污染程度选择合适的清洗液。

2. 渗透和脱气：清洗液渗透到待清洗物体的细孔或深孔中，使污垢溶解或分散于清洗液中。然后开始进行真空脱气处理。在减压抽真空的过程中，随着气压的降低，清洗液中溶解的微小气泡随之膨胀并带出污垢。真空状态下，可使气泡膨胀程度更大，增加对污垢的剥离效果。

3. 超声波清洗：在真空状态下，开启超声波发生装置。超声波的频率通常为20kHz至100kHz，通过液体中产生的高频振动波来清洗物体。超声波的作用可以使清洗液中形成溶液动力学效应，产生强大的冲刷力和剥离力，有效地去除物体表面的污垢。

4. 循环过滤：启动循环泵，使清洗液在真空状态下进行循环流动，并通过过滤器去除被剥离的污垢，以保持清洗液的清洁度。这样可以维持清洗液的使用寿命，并提高清洗效果。

5. 反复操作：为了进一步提高清洗效果，可以进行多次的减压脱气和恢复到常压状态的循环操作。这样可以增强超声波的传送效率，并加强对污垢的剥离效果。

总结起来，真空超声波清洗机的工作原理包括清洗液投入、渗透和脱气、超声波清洗、循环过滤和反复操作。通过结合真空脱气和超声波技术，该设备能够高效地清洗各种材质的物体，并去除表面的污垢、油脂和其他污染物，达到清洁的目的。